TS200 8 polegadas mesa de sonda manual

O sistema de caracterização de dispositivos de alta potência MPI foi projetado para testes de dispositivos de alta potência em wafers. O sistema de sonda MPI TS200-HP oferece uma solução completa de wafers de 200 mm. Eles são projetados para medir resistências de baixo contato em semicondutores de potência em uma ampla gama de temperaturas.

II. Descrição do produto

1. Design de múltiplas aplicações

Adequado para várias aplicações de medição de wafer, como descrição e modelagem de características de componentes, confiabilidade em nível de wafer (WLR), análise de falhas (FA), engenharia de circuitos integrados e microsistemas eletromecânicos (MEMS)

Eficiência e Design de Segurança

• Design de plataforma de flutuação de gás de libertação rápida para operação simples
• Mesa de trabalho robusta para até 10 microposicionadores HV de alta tensão ou 4 de alta corrente HC
• Projeto ArcShield de blindagem eletromagnética e blindagem de arco de mesa para medição de alta tensão
• Design de alça rápida de mesa de trabalho em três etapas (contato - separação - carga) para alta reprodutividade

Selecção flexível e atualização

Várias opções de conexão de instrumentos e suportes de wafer podem ser atualizados, além de vários acessórios como microposicionadores DC/RF/mmW, microscópios ópticos, lentes de imagem, caixas de blindagem eletromagnética e outros para suportar totalmente as necessidades da aplicação

Características e vantagens

1. Fase do ar

A plataforma de rolamentos de ar MPI é projetada com um simples controle de disco de mão única que oferece uma conveniência operacional inigualável para uma navegação XY rápida e uma carga de wafer rápida, sem afetar a capacidade de posicionamento preciso e preciso, e com um movimento de milímetro XY-Theta 25x25mm extra fino e preciso.

2. Chucks ambientais coaxiais de 10kV ou triaxiais de 3kV

As opções de fixação incluem fixações de anel coaxial de 10kV ou 3kv de três eixos do MP ou uma variedade de fixações térmicas ERS que suportam medições de temperatura de até 300 ℃. O controlador de toque quente foi projetado para ser instalado em uma sonda para uma operação rápida e fácil.

3. Sondas HV/HC

As soluções de detecção de alta potência da MPI incluem sondas de alta tensão e alta corrente dedicadas que usam pontas multicontato patenteadas da MPI para reduzir a resistência ao contato. As sondas de alta tensão da MPI permitem medições de baixa corrente de vazamento durante testes de alta tensão, testando configurações triaxiais de até 3kV ou coaxiais de 5 e 10kV.

Segurança e precisão (Safe and Accurate)

O sistema de sonda de alta potência manual padrão é configurado com o DarkOX, que oferece bloqueio de segurança e blindagem EM para garantir medições precisas e seguras com baixo som seco.

Integração de instrumentos (Instruments Integration)

O TS150-HP/TS200-HP pode ser configurado com vários pacotes de conexão de instrumentos, incluindo as sondas de alta tensão/alta corrente e os acessórios de cablagem necessários para a conexão ideal do 2600-PCT-XB com os instrumentos de teste Keysight B1505 (3kV ou 10kV) ou Keithley, incluindo a integração do painel de interface de alta potência 8020.

Parâmetros Funcionais

Especificações

Placa de pressão de sonda

Cartão de alta potência não térmica