Testador totalmente automático de espessura de membrana F60

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Testador totalmente automático de espessura de membrana F60

Detalhes do produto

Um,Introdução

A série Filmetrics da KLA utiliza a tecnologia de reflexão espectral para a medição precisa da espessura da película, a sua faixa de medição varia de nm a mm, que pode realizar medições precisas da espessura da película, como fotogravura, óxido, silício ou outras películas semicondutoras, películas orgânicas, películas transparentes condutoras e outras, e é amplamente usada em semicondutores, microeletrônica, biomédica e outras áreas. A Filmetrics oferece uma variedade de produtos como F10-HC, F20, F32, F40, F50, F60-t para medir amostras de tamanho de alguns milímetros a 450 milímetros, com medições de espessura de película fina de 1nm a mm. Os produtos da série Filmetrics F60 mapeam a espessura e a refração da película como os produtos F50, mas adicionam muitas funcionalidades para ambientes de produção. Estes recursos incluem detecção automática de ranhuras, determinação automática de referência, plataforma de medição totalmente fechada, computadores industriais pré-instalados com software e modelos atualizados para transmissão de wafer totalmente automatizada. Os diferentes instrumentos F60-t são diferenciados de acordo com a faixa de comprimentos de onda. Comprimentos de onda mais curtos (por exemplo, F60-t-UV) são geralmente usados para medir filmes mais finos, enquanto comprimentos de onda mais longos podem ser usados para medir filmes mais espessos, mais irregulares e mais opacos. .

Princípio de medição-Reflexão espectral

EspectroPolarizador Elíptico(SE) e espectro refletor (SR) são usados para analisar a luz refletida para determinar a espessura eTaxa de refraçãoA principal diferença entre os dois é que o elipsómetro mede pequenos ângulos deFilme finoA luz refletida, enquanto o refletor espectral mede a luz refletida verticalmente da película fina. O refletor espectral mede a luz vertical, ignorando o efeito de polarização (a grande maioria das películas finas são simétricas em rotação). Como não envolve nenhum dispositivo móvel, o refletor espectral se torna um instrumento simples e de baixo custo. Os refletores espectrais podem ser facilmente integrados para adicionar uma análise de transmitência mais poderosa. Os refletores espectrais são geralmente a escolha preferida para espessuras de filmes finas acima de 10um, enquanto os elipímetros se concentram em espessuras de filmes finas acima de 10nm. Entre espessuras de 10nm e 10um, ambas as tecnologias estão disponíveis. E os refletores espectrais com características rápidas, fáceis e de baixo custo são geralmente a melhor escolha.