Testador de espessura de membrana online F30

NegociávelAtualização em02/24

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Testador de espessura de membrana online F30

Detalhes do produto

Um,Introdução

A série Filmetrics da KLA utiliza a tecnologia de reflexão espectral para a medição precisa da espessura da película, a sua faixa de medição varia de nm a mm, que pode realizar medições precisas da espessura da película, como fotogravura, óxido, silício ou outras películas semicondutoras, películas orgânicas, películas transparentes condutoras e outras, e é amplamente usada em semicondutores, microeletrônica, biomédica e outras áreas. A Filmetrics oferece uma variedade de produtos como F10-HC, F20, F32, F40, F50, F60-t para medir amostras de tamanho de alguns milímetros a 450 milímetros, com medições de espessura de película fina de 1nm a mm. Os produtos da série Filmetrics F30 medem a taxa de sedimento, a espessura da camada de sedimento, as constantes ópticas (valores n e k) e a uniformidade das camadas de semicondutores e de dielectricidade em tempo real em depositação de fase química orgânica metálica (MOCVD), extensão de feixe molecular (MBE) e outros processos de sedimento, com filmes medidos que podem ser lisos e semitransparentes ou F30 suavemente absorvido para monitorar a refletidão, espessura e taxa de sedimento através de extensão de feixe molecular e tecnologia de depositação de fase química orgânica metálica. Isso realmente inclui qualquer material semicondutor, desde o nitreto de gálio e alumínio até o fósforo de gálio e índio..

Princípio de medição-Reflexão espectral

EspectroPolarizador Elíptico(SE) e espectro refletor (SR) são usados para analisar a luz refletida para determinar a espessura eTaxa de refraçãoA principal diferença entre os dois é que o elipsómetro mede pequenos ângulos deFilme finoA luz refletida, enquanto o refletor espectral mede a luz refletida verticalmente da película fina. O refletor espectral mede a luz vertical, ignorando o efeito de polarização (a grande maioria das películas finas são simétricas em rotação). Como não envolve nenhum dispositivo móvel, o refletor espectral se torna um instrumento simples e de baixo custo. Os refletores espectrais podem ser facilmente integrados para adicionar uma análise de transmitência mais poderosa. Os refletores espectrais são geralmente a escolha preferida para espessuras de filmes finas acima de 10um, enquanto os elipímetros se concentram em espessuras de filmes finas acima de 10nm. Entre espessuras de 10nm e 10um, ambas as tecnologias estão disponíveis. E os refletores espectrais com características rápidas, fáceis e de baixo custo são geralmente a melhor escolha.

Dois.Principais funções

lAplicações principais

Medir a taxa de sedimento, a espessura da camada de sedimento, as constantes ópticas (valores n e k) e a uniformidade das camadas de semicondutores e resistores

Filme liso e translúcido

Filme de absorção leve

Medição em tempo real da espessura da membrana