F3 Testador de espessura de membrana de ponto único

A série Filmetrics da KLA utiliza a tecnologia de reflexão espectral para a medição precisa da espessura da película, a sua faixa de medição varia de nm a mm, que pode realizar medições precisas da espessura da película, como fotogravura, óxido, silício ou outras películas semicondutoras, películas orgânicas, películas transparentes condutoras e outras, e é amplamente usada em semicondutores, microeletrônica, biomédica e outras áreas. A Filmetrics oferece uma variedade de produtos como F10-HC, F20, F32, F40, F50, F60-t para medir amostras de tamanho de alguns milímetros a 450 milímetros, com medições de espessura de película fina de 1nm a mm. O F3-sX pode testar a espessura de uma grande variedade de semicondutores e capazes de medir até 3 mm de espessura. A série F3-sX é configurada com um diâmetro de mancha de teste de 10 micrômetros para medir rapidamente e facilmente camadas de membrana de materiais que outros instrumentos de teste de espessura de membrana não podem medir.

Princípio de medição - Reflexão espectral

Tanto o polarizador elíptico espectral (SE) quanto o refletor espectral (SR) usam a análise da luz refletida para determinar a espessura e a taxa de refração de diâmetros, semicondutores e filmes metálicos. A principal diferença entre os dois é que o elipsómetro mede a luz refletida a partir de uma película fina em pequenos ângulos, enquanto o refletor espectral mede a luz refletida verticalmente a partir de uma película fina. O refletor espectral mede a luz vertical, ignorando o efeito de polarização (a grande maioria das películas finas são simétricas em rotação). Como não envolve nenhum dispositivo móvel, o refletor espectral se torna um instrumento simples e de baixo custo. Os refletores espectrais podem ser facilmente integrados para adicionar uma análise de transmitência mais poderosa. Os refletores espectrais são geralmente a escolha preferida para espessuras de filmes finas acima de 10um, enquanto os elipímetros se concentram em espessuras de filmes finas acima de 10nm. Entre espessuras de 10nm e 10um, ambas as tecnologias estão disponíveis. E os refletores espectrais com características rápidas, fáceis e de baixo custo são geralmente a melhor escolha.

I. Funções principais

Aplicações principais

Medir espessura, refração, reflexão e penetração de filmes mais grossos:

Capacidade técnica

Comprimento de onda espectral: 380-1580 nm

Medição da espessura: 10nm-3mm

Espessura mínima de medição n&k: 50 nm

Precisão: Tome o maior valor, 50nm ou 0,2%

Precisão: 5nm

Estabilidade: 5nm

Tamanho da mancha: 10µm

Tamanho da amostra: Diâmetro de 1mm a 300mm ou maior

II. Aplicação

Películas semicondutoras: fotogravuras, filmes de processo, materiais dielétricos

LCD: OLED, espessura do vidro, ITO

Revestimento óptico: espessura do revestimento duro, revestimento de redução

Película polimérica: PI, PC