Refrigeradores de laboratório químico _ Não padrão

Refrigeradores de laboratório químico _ Não padrão

Refrigeradores de laboratório químico _ Não padrão

Os refrigeradores de água de fábricas de semicondutores em aplicações de alta emissão de calor e controle de temperatura precisam atender aos requisitos rigorosos de estabilidade de temperatura, resfriamento rápido e resistência à corrosão, abaixo estão os cenários principais de aplicação e análise técnica:

Aplicações típicas em cenários de alta emissão de calor

1Processo de gravura（Como gravação de plasma）

Os campos elétricos de alta frequência produzem temperaturas elevadas instantâneas e os refrigeradores de água precisam de um resfriamento rápido para manter a temperatura da câmara estável e evitar flutuações na taxa de corrosão.

2Injecção de íons

Os feixes de íons de alta energia geram calor concentrado quando bombardeiam os wafers, e o refrigerador de água precisa resfriar o alvo e os componentes de fluxo de feixe para evitar danos à grade e dopagem desigual.

3Difusão e oxidação

Quando a temperatura do forno é alta, o refrigerador de água precisa remover o calor rapidamente para evitar o sobreaquecimento do forno e manter a uniformidade da temperatura, evitando que o wafer se deforme devido à tensão térmica.

4Polimento mecânico químico（CMP）

O atrito de polimento produz altas temperaturas que podem levar à volatilidade do líquido de polimento, e o refrigerador de água precisa resfriar a almofada de polimento e o sistema de transmissão para reduzir defeitos de superfície.

5Deposição de filme（CVD / PVD）

Os gases de alta temperatura da câmara de reação precisam de resfriamento rápido para evitar reações secundárias;O resfriamento do alvo por pulverização prolonga a vida útil e melhora a uniformidade do filme.

Dificuldades técnicas e soluções de alta temperatura

1Controle de temperatura de alta precisão

Necessidade de Realização±0.5℃Precisão de controle de temperatura através de sistemas de refrigeração multinível e dinâmicaPIDAjustamento do algoritmo.

2Capacidade de refrigeração rápida

Alguns cenários exigem uma grande diferença de temperatura para o resfriamento em pouco tempo, usando compressores e trocadores de calor de placa para melhorar a eficiência do resfriamento.

3Design de baixa vibração e baixo ruído

A proteção acústica e a estrutura amortiguadora do compressor impedem que as vibrações interfiram com processos como a gravação de luz.

Inteligência e otimização da eficiência energética

Sensores de pressão integrados e válvulas eletromagnéticas de três vias para redução de pressão de tubulação e comutação de ciclo interno;Os sistemas de monitoramento inteligentes reduzem o consumo de energia.

Pontos importantes da seleção do refrigerador

1Correspondência de refrigeração

Escolha uma quantidade de refrigeração ligeiramente maior do que a necessidade de acordo com a dissipação de calor do equipamento（Como design redundante）Evite falhas de controle de temperatura devido à sobrecarga ou ineficiencia.

2Escolha do modo de refrigeração

Refrigeração a água preferida para cenários de alta potência（Alta eficiência）Espaço limitado com refrigeração a ar（Flexível mas menos eficiente）- É.

3Adaptabilidade de materiais e processos

Função de isolamento contra explosão opcional;

O uso de compressores de conversor de frequência atende aos padrões de produção de fábricas de semicondutores.

O cenário de alta descarga de calor da fábrica de semicondutores exige rigorosamente a precisão do controle de temperatura e a eficiência da dissipação térmica do refrigerador de água, o refrigerador de semi-condutores de temperatura constante de Guangya suporta o controle de temperatura de vários canais, cobrindo todo o processo da fabricação de wafers ao teste de embalagem, combinando as necessidades do processo com a seleção personalizada.