Suzhou Yikang teste ambiental Co., Ltd.

Solução de teste de sala limpa para a indústria eletrônica

Itens de teste de sala limpa: número de mudanças de ar (velocidade do vento), diferença de pressão, temperatura, umidade, ruído, iluminação, limpeza (partículas de poeira)

Clientes:***Empresa eletrônica

Lista de instrumentos de teste

1Os ensaios de volume ou velocidade do vento devem cumprir os seguintes requisitos:

1 Para câmaras limpas de fluxo unidirecional, a velocidade média do vento em seção e o método de multiplicação de seção devem ser usados ​​para determinar o volume de ar fornecido e os filtros de alta eficiência devem ser removidos.300 milímetrosA seção vertical ao fluxo de ar serve como plano de teste. O plano de teste deve ser dividido em grelhas iguais, cada tamanho da grelha deve ser600 milímetros × 600 milímetrosou tamanho do filtro de ar final, o ponto de medição deve estar no centro da grade ou não deve ser inferior a 3 Pontos. O tempo de teste não deve ser inferior a10 anosOs valores médios, máximos e mínimos devem ser registrados e a média aritmética deve ser usada como a velocidade média do vento.

2 Para salas limpas de fluxo não unidirecional, o tempo de teste de cada ponto não deve ser inferior a10 anos- É.

3 Determinar a velocidade do ar em cada fim do filtro de ar e outros métodos de cobertura do ar, o número de pontos de medição em cada posição de teste não deve ser inferior a 3 Pontos.

2 O teste de diferença de pressão estática deve cumprir os seguintes requisitos:

1 A medição da diferença de pressão estática deve ser feita quando todas as portas estão fechadas.

2 O instrumento deve usar vários tipos de micropressômetro, a sensibilidade do instrumento deve ser menor do que1.0Pa- É.

3 Quando uma instalação limpa tem várias salas limpas (áreas), o teste de diferença de pressão entre a sala mais interna e a sala vizinha deve começar e deve ser testado para fora em sequência.

4Faça um teste em cada sala.

3. A inspeção de limpeza deve estar em conformidade com os seguintes requisitos:

1 Deve ser usada uma amostra maior que1L / minO contador óptico de partículas deve ser escolhido de acordo com a capacidade de identificação de tamanho de partículas, o âmbito de aplicação da concentração de partículas e a eficiência da contagem. O instrumento deve ter um certificado de calibração válido.

2 O ponto mínimo de amostragem deve ser calculado da seguinte forma:

NO L=√AEstilo médio ——Ponto mínimo de amostragem;

( A ) -Área da sala limpa ou área limpa acusada (m²).

Os pontos de amostragem devem ser distribuídos uniformemente por toda a área da sala limpa (área) e devem estar localizados à altura da área de trabalho.

3 A quantidade de amostragem de cada ponto de amostragem deve ser determinada da seguinte forma:

O VS=[20 / Cn, m]sim100

Estilo médio versão –Quantidade de amostragem de cada ponto de amostragem,O Lmostrando que quandoVsQuando muito grande, pode ser usado o método de amostragem sequencial. O tempo mínimo de amostragem para cada ponto de amostragem é1 minutoA amostragem deve ser pelo menos2 litros；

O Cn, m——Limite do tamanho das partículas medidas para o nível de pureza do ar da sala limpa medido (p/m³）；

20 ——Número de partículas (partículas) que podem ser medidas ao definir o limite de nível de limpeza do ar para as partículas de tamanho de partícula medidas.

Resultados do cálculo do volume de amostragem do ponto de amostragem individual da sala limpa em todos os níveis

1. Sala limpa de nível 100 (como 1 oficina,2/3laboratório)

˜≥0,5 μmAmostragem de partículas：

· O VS=[20 / Cn, m]sim100=[20/3520] sim100 = 0,568L

· Resultados do cálculo (0,568 litros）＜2LDeve ser levado conforme exigência2L- É.

˜≥5μmAmostragem de partículas：

· O VS=[20 / Cn, m]sim100=[20/29] sim100 = 68,97 litros

• Critérios de execução prática: Centenary sala limpa única amostragem≥68,97Lamostragem (combinando ambos os tamanhos de partículas), com100L / minContador, tempo de amostragem1minutos

2. Sala Limpa de Milhares (como 5 oficina)

˜≥0,5 μmAmostragem de partículas：

· O VS=[20 / Cn, m]sim100=[20/35200] sim100 = 0,0568L

· Resultados do cálculo (0,0568L）＜2LDeve ser levado conforme exigência2L- É.

˜≥5μmAmostragem de partículas：

· O VS=[20 / Cn, m]sim100=[20/293] sim100 = 6,83 litros

• Critérios de execução prática: Centenary sala limpa única amostragem≥68,97Lamostragem (combinando ambos os tamanhos de partículas), com100L / minContador, tempo de amostragem1minutos

3.Sala limpa de nível superior

˜≥0,5 μmAmostragem de partículas：

· O VS=[20 / Cn, m]sim100=[20/352000] sim100 = 0,00568L

· Resultados do cálculo (0,00568L）＜2LDeve ser levado conforme exigência2L- É.

˜≥5μmAmostragem de partículas：

· O VS=[20 / Cn, m]sim100=[20/2930] sim100 = 0,683L

• Critérios de execução prática: sala limpa de nível universal ponto de amostragem único≥2LAmostragem, tempo de amostragem quando se usa um contador de fluxo arbitrario≥1min(como100L / minTeste de amostragem do contador1minutos)

4Número de amostragens

Ponto de amostragem não deve ser inferior a2O número total de amostragens não é inferior a5Seguinte

4A temperatura e a umidade relativa devem estar em conformidade com as seguintes disposições:

1 A detecção de temperatura e umidade relativa deve ser testada em um estado uniforme de distribuição do fluxo de ar dentro da sala limpa (zona) e deve ser organizada após a aprovação do sistema de ar condicionado de purificação. A detecção de temperatura e umidade deve ser realizada após o sistema de ar condicionado de purificação estar em funcionamento e, pelo menos, após uma operação estável.

2 Detecção de umidade relativa deve dividir a área de trabalho limpa em uma grade de área igual, a área máxima de cada grade deve ser100m²deve ser um ponto de medição por celda, mas cada sala não deve ser inferior a 2 um ponto de teste.

3 O detector de teste deve estar localizado na altura de trabalho dentro da sala limpa (área), e o teto, parede e chão da sala limpa (área) não devem ser menores que300 milímetrosOs efeitos das fontes de calor possíveis dentro da sala limpa (zona) também devem ser considerados.

4 O tempo de teste deve ser pelo menos1.0he deve pelo menos6 minutosRealizar 1 Segunda (30 anosleitura, registro.

5.O teste de iluminação deve cumprir os seguintes requisitos:

1 Para a detecção de iluminação dentro da sala limpa (área), é recomendável usar um luminômetro portátil de registro automático.

2 A inspeção de iluminação deve ser realizada após a temperatura interna ser estável e a saída de luz da fonte de luz ser estável. A inspeção de iluminação da sala limpa (área) não deve incluir iluminação local e iluminação de reposição, como equipamentos de produção.

3 O ponto de detecção de iluminação deve estar localizado na altura de trabalho, à distância adequada do chão0,85 mDeve cada25m²Crie um ponto de teste.

6Detecção de ruído

E.6.1.Geralmente, só é possível detectarUmNivel sonoro de ruído, se necessário, pode ser usado um nível sonoro com um analisador de frequência dupla, de acordo com a frequência central 63、125、250、500、1000、2000、4000e8000HzDetecção de frequência múltipla, perto do ponto de medição1mNão deve haver reflexo. A escala mínima do sonômetro não deve ser inferior a0,2 dB（Um).

E.6.2.Distância do solo1,1 mA área está15m²A sala limpa abaixo, disponível apenas no centro da sala de teste 1 Ponto,15m²Sala limpa acima do centro 1 Fora do ponto, a diagonal deve ser medida novamente. 4 Pontos, a partir da parede lateral.1mmedição em direção a todos os cantos.

E.6.3.Quando for uma sala de limpeza de fluxo misto, o ruído da área de fluxo unidirecional e da área de fluxo não unidirecional deve ser medido separadamente.

E.6.4.Quando há condições, é aconselhável medir o ruído de fundo do sistema de limpeza de ar condicionado após a parada de funcionamento, a diferença entre o ruído interior e o ruído de fundo é menor do que10dB（UmO valor de medição deve ser corrigido: diferença (6～9）em dB（Um(Tempo reduzido)1dB（Umdiferença (4～5）em dB（Um(Tempo reduzido)2dB（Umdiferença).3dB（Um(Tempo reduzido)3dBA diferença é menor que3dB（UmO valor medido é inválido.

7Critérios de julgamento