Com o desenvolvimento da indústria de fabricação, os requisitos para a qualidade e segurança dos produtos são cada vez mais elevados. O vácuo é um elemento vital em muitos processos de fabricação, e vazamentos de sistemas de vácuo afetam diretamente o desempenho e a qualidade do produto. Para garantir a confiabilidade e a estabilidade do sistema de vácuo, a tecnologia de detecção de vazamentos de atenuação de vácuo on-line surgiu.
A tecnologia de detecção de vazamento de decadimento de vácuo on-line é um método para determinar se um sistema está vazando detectando a taxa de decadimento em um sistema de vácuo. Seu princípio baseia-se nos seguintes dois pontos:
A taxa de decadência do sistema de vácuo é proporcional à quantidade de vazamento: quando há vazamento no sistema de vácuo, o gás dentro do sistema entrará constantemente no sistema, levando ao vácuo do sistema a diminuir e a taxa de decadência a aumentar. Portanto, o monitoramento da taxa de decadência do sistema de vácuo permite avaliar indiretamente a presença de vazamentos no sistema.
A taxa de decadência do sistema de vácuo é afetada por vários fatores: além do vazamento, a taxa de decadência do sistema de vácuo também é afetada por fatores como a adsorção de gás, a desgasificação e o vazamento do próprio sistema. Portanto, a tecnologia de detecção de vazamento de atenuação de vácuo on-line precisa considerar e excluir os efeitos desses fatores para determinar com precisão se o sistema está vazando.
A tecnologia de detecção de vazamento de atenuação de vácuo on-line é amplamente utilizada no controle de qualidade e inspeção de vários sistemas de vácuo, especialmente para os seguintes cenários:
Os sistemas de vácuo de aeronaves espaciais têm uma tolerância extremamente baixa a vazamentos, por isso é necessária uma tecnologia de detecção de vazamentos de alta precisão para garantir a confiabilidade e a segurança do sistema. O processo de fabricação de dispositivos semicondutores precisa ser realizado em um ambiente de vácuo ultra-alto, e os requisitos de vazamento do sistema de vácuo são rigorosos, portanto, a tecnologia de detecção de vazamento de atenuação de vácuo on-line se torna uma ferramenta indispensável. Os sistemas de vácuo em equipamentos médicos são essenciais para a segurança da vida dos pacientes, por isso é necessária uma tecnologia confiável de detecção de vazamentos para garantir a confiabilidade e segurança dos equipamentos.
A tecnologia de detecção de vazamento de atenuação de vácuo on-line tem as seguintes vantagens em comparação com os métodos tradicionais de detecção de vazamento:
A tecnologia de detecção de vazamento de decadimento de vácuo on-line pode monitorar a taxa de decadimento do sistema de vácuo em tempo real, detectar vazamentos no sistema em tempo útil e reduzir o impacto do vazamento no processo de produção. Pequenos vazamentos podem ser detectados, aumentando a sensibilidade e a precisão da detecção de vazamentos. Não é necessária uma inspeção destrutiva do sistema de vácuo e não afeta o funcionamento normal do sistema, reduzindo os custos e riscos de inspeção. Pode ser combinado com linhas de produção de automação para automatizar e automatizar a detecção de vazamentos, melhorando a eficiência de produção e a qualidade do produto.