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PfeifferAplicações de bombas moleculares em linhas de produção de vidro de baixa radiação (LOW-E)
LOW-E é o nome completo de vidro com baixa emissividade. O vidro reflexo térmico é um novo tipo de vidro de poupança de energia. Atualmente, a tecnologia de revestimento de pulverização de magnetrônicos a vácuo (método offline) é usada internacionalmente para produzir vidro Low-E. Pfeiffer alemã vendida pela BertonBomba molecularaplicado com sucesso para isso.
PrincípiosO vidro é colocado verticalmente na prateleira, enviado em um ambiente de vácuo de 10-1 Pa, para entrar na quantidade apropriada de gás de processo (gás inerte Ar ou gás de reação O2, N2) e manter o vácuo estável. O alvo Ag, Si, etc. é incorporado no cátodo e colocado no campo magnético na direção horizontal vertical ao cátodo para formar o alvo magnetrônico. Com o alvo magnetron como cátodo, juntamente com a fonte de energia de corrente contínua ou AC, sob o efeito de alta tensão, o gás de processo se ioniza e forma o plasma. Entre eles, os elétrons, sob a ação conjunta de campos elétricos e magnéticos, realizam movimentos espirais de alta velocidade, colidem com moléculas de gás e produzem mais posiões e elétrons; Os íons positivos, sob o efeito do campo elétrico, atingem uma certa energia após atingir o alvo catódico, o alvo pulverizado é depositado na base de vidro para formar uma película fina. Para formar uma camada de membrana uniforme, o alvo catódico se move para trás perto da superfície do vidro. Para obter uma membrana de camadas múltiplas, é necessário usar vários cátodos, cada cátodo é movido para trás na superfície do vidro, formando uma certa espessura da membrana.
A PFEIFFER ganhou o favor dos clientes do mercado LOW-E com mais de 120 anos de experiência em fabricação de vácuo e serviço pós-venda e suporte técnico em todo o mundo, na Alemanha. VON ARDENNE é o cliente mais típico. PFEIFFERBomba molecularA linha de produção LOE-E é usada em Sinyi Glass, South Glass e outros gigantes chineses de fabricação de vidro.
PfeifferBomba molecularVantagens: