Automegasamdri-936, Série C Secador de ponto crítico

Automegasamdri-936,

Série C

• Características do produto:

• O novo controle de carga lenta dedicado fornece a dinâmica ideal do fluido de dióxido de carbono para a cavidade da amostra, protegendo a maioria das amostras frágeis;

• Dispositivo de filtragem pós-PURGE configurado externamente para proteger amostras, fácil substituição e manutenção posterior;

• A mistura não mecânica "Vortex Swirl" patenteada exclusivamente permite que o PURGE seja completo sem danificar a amostra;

• Sistema de circuito de refrigeração fechado interno eficiente, que pode resfriar rapidamente a temperatura da câmara e reduzir o tempo de operação;

• Condensador SOTER incorporado para separar o etanol residual e os gases de escape, eliminando o ruído de escape;

• Preenchimento único da câmara de amostras que pode alterar o diâmetro da câmara de amostras, reduzir o consumo e o tempo de processamento de dióxido de carbono líquido e ser compatível com o processamento de wafers de diferentes tamanhos;

• Sistema de filtragem interno, filtrando o dióxido de carbono líquido que flui para a câmara de amostra, o tamanho mínimo das partículas filtradas atinge 0,08 μm;

• Uma operação pode lidar com 5 peças de wafers de 6 polegadas, alterar o tamanho da câmara de amostra, cada operação também pode lidar com wafers de 4 polegadas, 3 polegadas, 2 polegadas e cristales quadrados de 10 mm, respectivamente;

• 6 polegadas, 4 polegadas, 3 polegadas, 2 polegadas de rack de amostras de wafer e 10 mm de rack de amostras de cristal quadrado compatível com Teflon padrão;

• Câmara de amostras vertical, cavidade interna com iluminação, tampa da câmara de amostras com janela de observação;

• Controle de tela táctil LCD brilhante;

• Automatização de fábrica integrada e possibilidade de criar e salvar programas personalizados;

• Todas as superfícies internas são aplicáveis ​​a CO2, acetona e etanol ultrapuro;

• Os parâmetros definidos podem ser repetidos para garantir a repetibilidade dos resultados;

• Integração de módulos de controle de pressão estática e de controle automático para garantir a operação automática e segura;

• sala limpa e design anti-estático compatível;

Todos os componentes elétricos cumprem as normas UL, CE e U.S. Military;

• Especificações do produto:

• Dimensões externas: largura 19,8" (50,3 cm) × profundidade 31,7" (80,6 cm) × altura 44,5" (113,0 cm);

• Dimensões de instalação: largura 27" (68,6 cm) × profundidade 38" (96,5 cm);

• Tamanho da câmara da amostra: diâmetro interno 6,5 "x profundidade 1,25", volume da câmara da amostra: 679 ml;

• A velocidade de fluxo do LCO2 é controlada por meio de uma válvula de medição miniatura com uma barra de cursor;

120V/50-60HZ (voltagem adicional opcional);

• Acessórios padrão:

• Tubo LCO2 de aço inoxidável de alta pressão (revestido com Teflon) de 3 metros de comprimento;

• Dispositivo de filtragem duplo tipo T, filtro duplo de partículas minúsculas, o dispositivo de filtragem pode ser pré-conectado ao tubo LCO2 para fácil instalação;

• instalação de ferramentas;

• Tubo de escape anti-estático para escape durante PURGE/VENT/BLEED e COOL;

• 3 anéis tipo O da sala de amostra, 1 iluminação LED da sala de amostra, 2 fusíveis 3A e 8A cada um;

• 4 blocos de preenchimento de câmaras de amostra de Teflon para que o diâmetro da câmara de amostra inclua 6, 4, 3, 2 e 1,25 polegadas;

• Diâmetro de 6, 4, 3, 2 polegadas de rack de amostra de wafer e comprimento lateral de 10 mm de rack de amostra de cristal quadrado cada um, rack de amostra HF compatível;