Bomba molecularÉ uma bomba de vácuo que usa um rotor de rotação de alta velocidade para transferir o ímpeto para as moléculas de gás, para que elas obtenham velocidades direcionais e, assim, sejam comprimidas e movidas para a abertura de escape depois de serem extraídas para o estágio anterior. Essa bomba pode ser dividida em:
1.A molécula de gás da bomba molecular de tração colide com um rotor em movimento de alta velocidade e ganha momentum e é conduzida para a saída da bomba.
2.As bombas moleculares de turbina são bombeadas por meio de lâminas rotativas de alta velocidade e lâminas estáticas. Essas bombas geralmente funcionam em um estado de fluxo molecular.
3.Bomba molecular composta é uma bomba de vácuo molecular composta combinada por duas bombas moleculares de turbina e tração.
Bomba molecular compostaÉ uma combinação em série de bomba molecular de turbo e bomba molecular de tração, combinando as vantagens de dois tipos de bomba em um. A bomba tem uma grande velocidade de bombeamento e uma alta relação de compressão em uma faixa de pressão muito ampla ((10-6 ~ 1Pa), o que melhora significativamente a pressão de saída da bomba. Muitas formas de bomba molecular composta, de acordo com a estrutura, existem dois tipos principais: um é a combinação em série de lâminas de turbina e bomba de tração de disco; Outra é a combinação em série de lâminas de turbina e bombas de tração cilindrosas; Como se mostra a seguir:
1, classe de turbinaUsado principalmente para aumentar a velocidade de bombeamento da bomba, geralmente a forma da lâmina é apropriada para melhorar a velocidade de bombeamento, a série está dentro do nível l0. O nível de tração é usado principalmente para aumentar a relação de compressão da bomba e aumentar a pressão de saída da bomba.
2, nível de tração de discoÉ o plano do disco plano de acordo com uma certa regra para abrir várias linhas de ranhura, em seguida, o disco em série para formar, a linha de tipo tem a espiral de Arquimedes, a espiral logarística, o arco círculo, etc. A molécula de gás é "arrastada" pelo disco rotativo de alta velocidade durante a pompagem de gás, para que ela faça um fluxo direcional de volta e volta de dentro para fora e de fora para dentro ao longo da ranhura, alcançando assim o objetivo da pompagem.