I. Visão geral

A unidade de vácuo Rots é um sistema de bombeamento de vácuo multiestágio e eficiente, composto por uma bomba Roots e uma bomba de vácuo Rots em série. Esta unidade combina a grande capacidade de bombeamento da bomba Rotz e a vantagem da alta relação de compressão da bomba rotativa, e é amplamente usada em áreas industriais que exigem vácuo médio e alto (10-² ~ 10-4 Pa), como a fabricação de semicondutores, revestimentos a vácuo, indústria química farmacêutica, etc.

II. Princípio de trabalho

1- Bomba Roots (bomba principal)

• Usa um par de rodas (rotores) de rotação inversa sincrônica para empurrar o gás da entrada de ar para a abertura de escape por meio de engajamento sem contato.

• Sem compressão interna, depende de rotação de alta velocidade para obter uma grande velocidade de bombeamento (até 1000 ~ 20000 m³ / h).

• É necessário usar uma bomba frontal (bomba giratória), uma vez que a bomba Rotz por si só não pode emitir diretamente gases à pressão atmosférica.

2- Bomba Rotativa (Bomba Anterior)

• O gás é comprimido e expulso através de rotores e rotores ecêntricos, fornecendo vácuo primário (vácuo limite de cerca de 10-2 Pa).

• Crie um ambiente de baixa pressão para a bomba Roots para garantir que a unidade funcione de forma eficiente.

3 – Fluxo de trabalho colaborativo

• O gás é bombeado pela bomba rotativa para a faixa de vácuo médio (1 a 10 Pa) e, em seguida, a bomba Rotz é iniciada para elevar o vácuo para níveis mais altos.

III. Características técnicas

1 – Eficiência energética

• A velocidade de bombeamento da bomba Roots é significativamente maior em intervalos de baixa pressão do que a bomba de rotação de estágio único, o consumo de energia é 30% a 50% menor do que a unidade convencional.

2 – Amplo âmbito de trabalho

• Cobertura de vácuo médio a vácuo alto (105 ~ 10-4 Pa), adaptando-se às necessidades de processo variáveis.

Baixa vibração e baixa poluição

• A bomba Roots é projetada sem óleo para reduzir a poluição, e a bomba rotativa pode ser lubrificada com óleo ou seca (bomba rotativa sem óleo) para atender aos requisitos de limpeza.

4 – Controle inteligente.

• A unidade moderna é equipada com um sistema de controle PLC para ajustar automaticamente a velocidade da bomba, a proteção contra sobrecarga e a ordem de arranque e parada.

4 – Aplicações típicas

1 - Fotovoltaico e Semicondutores

• Mantenção do ambiente de vácuo para revestimento de wafer e equipamentos de gravura.

2 – Indústria química e farmacêutica

• Recuperação de solventes, secagem a vácuo, destilação molecular e outros processos.

3 – Pesquisa e Laboratório

• Sincronização de dispositivos de radiação, secador de congelamento a vácuo, etc.

4. embalagem de alimentos.

• Remoção rápida do ar dentro da embalagem para prolongar a vida útil.