O vácuometer inficon é um instrumento usado para medir a pressão do gás em áreas de alto vácuo (dentro da faixa de densidade do ar baixa até abaixo da pressão atmosférica). Seu princípio de funcionamento é baseado na colisão entre as moléculas de gás e a superfície, bem como nas propriedades de movimento das moléculas de gás em condições de vácuo.
Existe uma grande variedade de instrumentos que funcionam em diferentes princípios, como o fluxo de termoeletrônicos e íons catódicos, a absorção de fluxo grande, a medição de pressão volumétrica e a vibração. Os diferentes medidores de vácuo têm diferentes características e vantagens e desvantagens e podem escolher o instrumento adequado de acordo com as necessidades reais.
Princípios básicos do vácuometer inficon:
Consiste em dois eletrodos, um dos quais é o ánodo (tubo de raios catódicos ou arma eletrônica) e o outro é o catódico (receptor). Quando a fonte de energia de alta tensão é adicionada, o ánodo emite um feixe de elétrons que colide com as moléculas de gás ao passar pela área de vácuo, ionizando-as e gerando pares de íons de elétrons. Estes pares de íons se movem sob o impulso de campos elétricos e geram corrente na superfície do cátodo.
Com diferentes estruturas de eletrodos e projetos de circuitos, o vácuometer permite diferentes faixas de medição e sensibilidades. Onde, o vácuometer de cátodo térmico usa o princípio da emissão de termoeletrônicos para gerar elétrons na área de vácuo e calcular a pressão do gás através da colisão de elétrons com moléculas de gás; O vácuometer de cátodo frio mede a pressão do ar através da adsorção e desabsorção de gás na superfície do cátodo, e sua sensibilidade é maior do que o vácuometer de cátodo quente e é adequado para uma gama mais ampla de medição.
Em suma, os medidores de vácuo inficon têm amplas aplicações em muitas aplicações, como células solares, pesquisa de materiais na microeletrônica, fábricas de processamento de semicondutores e fábricas de fabricação de aeronaves. Diferentes medidores de vácuo têm diferentes faixas de medição, volume, sensibilidade e outras características. Portanto, na escolha e utilização do cronometro de vácuo, é necessário avaliar as circunstâncias reais para escolher o instrumento adequado.